실리콘(Si) 단결정은 경도가 높고 물에 불용성이며 광 투과율 범위가 1.5-8 미크론인 화학적으로 불활성인 물질입니다. 실리콘 미러의 장점은 내구성, 열 안정성이 우수하고 상대적으로 비용이 저렴하다는 것입니다. 코팅된 실리콘 기판은 일반적으로 CO2 레이저용 미러로 사용됩니다. 실리콘 미러는 경량 스캔 미러, 반도체 웨이퍼 핸들링, 반사형 이미징 시스템과 같은 상업용 애플리케이션에도 사용됩니다.